Welche Konzepte zur Abgrenzung von Reinräumen gibt es?

Zur Abgrenzung der Reinraumbereiche voneinander und zur Umgebung wird zwischen den Bereichen und Schleusen unterschiedlicher Reinheitsklassen eine Druckkaskade eingerichtet. Dabei unterscheidet man zwischen Unter- und Überdrucksystemen. In den Schleusen kann es Überströmbereiche zur Erhaltung der Druckstufen geben.

[GMP-BERATER, Kapitel 3.C]

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